Open Access
Numéro
J3eA
Volume 2, 2003
Numéro d'article 016
Nombre de pages 32
DOI https://doi.org/10.1051/bib-j3ea:2003016
Publié en ligne 15 juin 2003

Online Material


Figure 8 :

Vidéo de la descente d'une pointe de test

Figure 17 :

- Vidéo des tests des micro-actionneurs thermiques réalisés avec le process PLOS4-AIME

- Vidéo des tests des micro-actionneurs thermiques réalisés avec le process MUMPS-Cronos

Figure 21 :

Maillage et simulation de la déformation d'un micro-actionneur thermique MUMPS-Cronos avec l'application de 2 V

Figure 29 :

Vidéo du test d'un miroir individuel dans une matrice avec une tension de 32 V

Figure 30 :

- Vidéo du test d'un miroir PLOS4-AIME

- Vidéo du test en ligne d'une matrice de miroirs MUMPSCronos

Figure 31 :

Simulation aux éléments finis du déplacement et de la variation du stress pour un miroir de la matrice MUMPS-Cronos

Figure 37 :

- Vidéos de test des moteurs 12/8

- Vidéos de test des moteurs Wobble en technologie MUMPS-Cronos


© EDP Sciences, 2003

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