Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-CutTMC. Rouhabi, T. Besombes, R. P. Tan, F. Guerin, C. Capello, F. Gessinn, G. Benassayag, A. Claverie, X. Hebras et M. RespaudJ3eA, 16 (2017) 1011DOI: https://doi.org/10.1051/j3ea/20171011
