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Mise en oeuvre de capteurs RF-MEMS acoustiques pour l’industrie 4.0

Y. Dusch, C. Ghouila Houri, A. Mazzamurro, G. Boussatour, H. Dahmani, O. Bou Matar, V. Maurice, P. Pernod et A. Talbi

J3eA, 21 (2022) 1019

DOI: https://doi.org/10.1051/j3ea/20221019

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