Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-CutTM C. Rouhabi, T. Besombes, R. P. Tan, F. Guerin, C. Capello, F. Gessinn, G. Benassayag, A. Claverie, X. Hebras et M. Respaud J3eA, 16 (2017) 1011 Publié en ligne : 31 janvier 2018 DOI: 10.1051/j3ea/20171011