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J3eA
Volume 21, 2022
JPCNFM 2021 – 16e journées pédagogiques du CNFM (Coordination Nationale pour la Formation en Micro-électronique et en nanotechnologies)
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| Article Number | 1019 | |
| Number of page(s) | 6 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/j3ea/20221019 | |
| Published online | 10 juin 2022 | |
Mise en oeuvre de capteurs RF-MEMS acoustiques pour l’industrie 4.0
Université Lille, CNRS, Centrale Lille, Université Polytechnique Hauts-de-France, UMR 8520 - IEMN, LIA LICS, Lille F-59000, France
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Résumé
Cette étude propose la conception complète d’un système de suivi à distance des sollicitations mécaniques dans les machines électriques afin de répondre aux problématiques de l’industrie 4.0 et de la maintenance prédictive. Elle s’appuie sur la conception, la fabrication et la caractérisation de MEMS acoustiques hautes fréquences (bande ISM à 433MHz) intégrés à un banc de test et comparés aux performances de jauges de déformation commerciales.
© The authors, published by EDP Sciences 2022
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