Microsystèmes (MST/MEMS) : de la simulation à la réalisation technologique et à la caractérisationL. Montès, D. Tsamados, N. Mathieu, P. Morfouli, B. Charlot et C. SchaefferJ3eA, 4 (2005) 028DOI: https://doi.org/10.1051/bib-j3ea:2005728
