Physique des fluides aux échelles microscopiques pour l’ingénierie des microsystèmes : fabrication et caractérisationRenaud Dufour, Simon Laurette, Thomas Dargent, Maxime Harnois, Nour- Eddine Bourzgui et Vincent ThomyJ3eA, 13 (2014) 0002DOI: https://doi.org/10.1051/j3ea/2014002