Tour d’horizon des possibilités du Silicium : de l’électronique aux dispositifs de récupération d’énergie et capteurs micro-usinésO. De Sagazan, Ch. Lebreton, M. Harnois, T. Mohammed Brahim et E. JacquesJ3eA, 16 (2017) 1009DOI: https://doi.org/10.1051/j3ea/20171009