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Microsystèmes à actionnement électrostatique: conception, modélisation et caractérisation

H. Camon, J.-Y. Fourniols, S. Muratet and B. Estibals

J3eA, 2 (2003) 002

Published online: 15 juin 2003

DOI: 10.1051/bib-j3ea:2003602

H. Camon

J.-Y. Fourniols

S. Muratet

B. Estibals

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