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Introduction à la microélectronique sub-micronique

E. Sicard et S. Delmas-Bendhia

J3eA, 1 (2002) 002

Publié en ligne : 15 juin 2002

DOI: 10.1051/bib-j3ea:2002002

E. Sicard

S. Delmas-Bendhia

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