Mise en oeuvre de capteurs RF-MEMS acoustiques pour l’industrie 4.0 Y. Dusch, C. Ghouila Houri, A. Mazzamurro, G. Boussatour, H. Dahmani, O. Bou Matar, V. Maurice, P. Pernod et A. Talbi J3eA, 21 (2022) 1019 Publié en ligne : 10 juin 2022 DOI: 10.1051/j3ea/20221019