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Nouveau jeu de masques pour la prise en main des étapes de base de fabrication en salle blanche de composants microélectroniques

O. de Sagazan, C. Lebreton, E. Jacques et L. Pichon

J3eA, 23 (2024) 1004

Publié en ligne : 12 juillet 2024

DOI: 10.1051/j3ea/20241004

O. de Sagazan

C. Lebreton

E. Jacques

L. Pichon

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