Microsystèmes communicants : modélisation, fabrication et mesures S. Hage-Ali, M. Oudich, J. Claudel, J. Strèque, E. Tisserand, J. Mainka, D. Rouxel, C. Floer, O. Elmazria, M. Hehn et al. (2 de plus) J3eA, 18 (2019) 1007 Publié en ligne : 18 octobre 2019 DOI: 10.1051/j3ea/20191007