| Issue |
j3ea
Volume 2, 2003
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| Article Number | 016 | |
| Number of page(s) | 32 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/bib-j3ea:2003016 | |
| Published online | 15 juin 2003 | |
Les microsytèmes : conception, simulation, tests et caractérisations - Enseignement des microsystèmes
1
INSA/DGEI (Institut National des Sciences Appliquées, Département Génie Électrique et Informatique), 135 avenue de Rangueil, F-31077 Toulouse Cedex 4, France
2
LAAS-CNRS (Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes), groupe MIS, 7 avenue du colonel Roche, F-31077 Toulouse Cedex 4, France
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Résumé
Former des ingénieurs uniquement sur le thème des microsystèmes serait en inadéquation avec les besoins du marché industriel. Néanmoins, de nouvelles applications émergent en conception, réalisation et tests de systèmes intégrés pour lesquelles nous nous devons aussi d'anticiper le marché de demain, en proposant dès aujourd'hui un complément plus orienté “ Systèmes ” à nos formations. Les microsystèmes sont une évolution vers la complexité et la pluridisciplinarité des technologies de l'intégration. Leur développement et les méthodes pour former les futurs ingénieurs de demain posent de difficiles problèmes pour nos formations centrées sur les métiers de la microélectronique : quelles démarches, quelles procédures, quelles méthodes, quels outils utiliser pour appréhender par la pratique un domaine aussi horizontal que les microsystèmes ? Nous proposons dans cet article quelques réponses au travers d'un volet “ enseignement par l'expérimentation ” depuis la conception (design et simulation numérique 3D), la fabrication (mise en place de la semaine de salle blanche à l'AIME), jusqu'au test d'échantillons par une plateforme comprenant un testeur sous pointes manuel. Forts de nos acquis depuis 3 ans, nous souhaiterions partager cette expérience au niveau national, en mettant au service des autres nos moyens et nos expériences. Beaucoup d'entre nous se posent actuellement la question d'ouvrir des modules Microsystèmes, cet article présente une possibilité d'enseignement d'une science “ jeune ”, à laquelle nous devons réfléchir ensemble afin de préparer les acteurs de demain.
Mots clés : Microsystèmes / MEMS / CAO / simulation aux éléments finis / salle blanche / process microsystèmes / test sous pointes et caractérisation.
© EDP Sciences, 2003
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