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J3eA
Volume 16, 2017
JPCNFM 2016 – 14e journées pédagogiques du CNFM (Coordination nationale pour la formation en micro-électronique et en nanotechnologies)
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| Article Number | 1008 | |
| Number of page(s) | 5 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/j3ea/20171008 | |
| Published online | 31 janvier 2018 | |
Nouveaux Travaux Pratiques d’Elaboration et de Caractérisation de cellules de mémoires résistives de type OxRAM
1
Univ. Grenoble Alpes, CNRS, LTM, F-38000, Grenoble, France
2
Centre Interuniversitaire de Microélectronique et Nanotechnologies (CIME Nanotech),
*
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Résumé
Cet article présente la mise en oeuvre d’une nouvelle formation pratique pour la réalisation et la caractérisation électrique de cellules mémoires basées sur la commutation réversible entre deux états de résistance distincts dans le matériau diélectrique d’une structure MIM. L’enchaînement des étapes technologiques s’appuie sur les techniques élémentaires traditionnelles en microélectronique, et permet de donner une vue globale des problématiques actuelles dans le domaine de la fabrication des composants.
© EDP Sciences 2017
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