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J3eA
Volume 16, 2017
JPCNFM 2016 – 14e journées pédagogiques du CNFM (Coordination nationale pour la formation en micro-électronique et en nanotechnologies)
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| Article Number | 1010 | |
| Number of page(s) | 4 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/j3ea/20171010 | |
| Published online | 31 janvier 2018 | |
Manipulation de nanofils de silicium à partir de nano robots
a
Centre Commun de Microélectronique de l’Ouest, CCMO, Rennes
b
Institut de Physique de Rennes, université de Rennes 1, UMR 6251, 35042 Rennes, France
c
Institut d’Electronique et de Télécommunications de Rennes, UMR 6164, 35042 Rennes
d
CMEBA-ScanMAT, campus de beaulieu, université de Rennes 1
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Résumé
Nous présentons dans cet article une proposition de travaux pratiques sur la manipulation de nanofils de silicium individuels à partir de nano-robots pilotés par ordinateur. Ces nano-robots sont installés dans l’enceinte d’un microscope électronique à balayage. Le contrôle des nano-robots se fait par ordinateur via un module électronique d’interface.
© EDP Sciences 2017
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