| Numéro |
J3eA
Volume 21, 2022
JPCNFM 2021 – 16e journées pédagogiques du CNFM (Coordination Nationale pour la Formation en Micro-électronique et en nanotechnologies)
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|---|---|---|
| Numéro d'article | 1001 | |
| Nombre de pages | 6 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/j3ea/20221001 | |
| Publié en ligne | 10 juin 2022 | |
Mesures et modélisation RF de capacités MIM intégrées
1
RFIC-Lac, Université de Grenoble-Alpes, Grenoble, France
2
CIME Nanotech, Grenoble, France
* Contact email : jean-daniel.arnould@grenoble-inp.fr
Il s’agit de former des étudiants de Master 2 et des ingénieurs en formation continue à la mesure RF sous pointes pour caractériser des capacités Métal-Isolant-Métal (MIM) intégrées sur un wafer. La problématique est d’obtenir le modèle électrique le plus fiable possible de ces capacités entre 40MHz et 26GHz tout en s’affranchissant des contraintes de mesures et des éléments d’accès RF à cette capacité.
© The authors, published by EDP Sciences 2022
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