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J3eA
Volume 21, 2022
JPCNFM 2021 – 16e journées pédagogiques du CNFM (Coordination Nationale pour la Formation en Micro-électronique et en nanotechnologies)
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| Article Number | 1007 | |
| Number of page(s) | 6 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/j3ea/20221007 | |
| Published online | 10 juin 2022 | |
La microscopie confocale : un support de formation en micro- et nano-électronique au CCMO, pôle CFM de Rennes
1
Pôle CNFM de Rennes (CCMO), Université de Rennes 1, Rennes, France
2
Univ Rennes, CNRS, IETR [Institut d'Electronique et des Technologies du numéRique] - UMR 6164, F-35000 Rennes, France
3
Institut FOTON – UMR6082, F-35000 Rennes, France
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Résumé
L’article présente de l’apport de la microscopie confocale dans les formations en micro- et nano-technologies proposées par le CCMO (Centre Commun de Microélectronique de l’Ouest), pôle CFNM de Rennes. Un focus particulier est porté sur l’observation et la caractérisation à l’échelle micro et nanométrique d’objets (composants, nanofils,…) ou de systèmes microélectroniques (architecture physique de microprocesseurs).
© The authors, published by EDP Sciences 2022
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