Open Access
Numéro
J3eA
Volume 21, 2022
JPCNFM 2021 – 16e journées pédagogiques du CNFM (Coordination Nationale pour la Formation en Micro-électronique et en nanotechnologies)
Numéro d'article 1023
Nombre de pages 7
DOI https://doi.org/10.1051/j3ea/20221023
Publié en ligne 10 juin 2022

© The authors, published by EDP Sciences 2022

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