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Figure 8 :

Vidéo de la descente d'une pointe de test

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Figure 17 :

- Vidéo des tests des micro-actionneurs thermiques réalisés avec le process PLOS4-AIME

- Vidéo des tests des micro-actionneurs thermiques réalisés avec le process MUMPS-Cronos

Figure 21 :

Maillage et simulation de la déformation d'un micro-actionneur thermique MUMPS-Cronos avec l'application de 2 V

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Figure 29 :

Vidéo du test d'un miroir individuel dans une matrice avec une tension de 32 V

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Figure 30 :

- Vidéo du test d'un miroir PLOS4-AIME

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- Vidéo du test en ligne d'une matrice de miroirs MUMPSCronos

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Figure 31 :

Simulation aux éléments finis du déplacement et de la variation du stress pour un miroir de la matrice MUMPS-Cronos

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Figure 37 :

- Vidéos de test des moteurs 12/8

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- Vidéos de test des moteurs Wobble en technologie MUMPS-Cronos

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© EDP Sciences, 2003