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Study of beveled angle effect on morphology of dual damascene via filling using ionized physical vapor deposition

Chi-Chuan Hwang, Jee-Gong Chang, Ming-Hang Weng and Hong-Chang Lin
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 21 (6) 2404 (2003)
DOI: 10.1116/1.1623511
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