Microsystèmes communicants : modélisation, fabrication et mesures
S. Hage-Ali, M. Oudich, J. Claudel, J. Strèque, E. Tisserand, J. Mainka, D. Rouxel, C. Floer, O. Elmazria, M. Hehn, F. Weinachter et S. Weber
J3eA, 18 (2019) 1007
DOI: https://doi.org/10.1051/j3ea/20191007
