Microsystèmes communicants : modélisation, fabrication et mesures

S. Hage-Ali; M. Oudich; J. Claudel; J. Strèque; E. Tisserand; J. Mainka; D. Rouxel; C. Floer; O. Elmazria; M. Hehn; F. Weinachter; S. Weber

doi:10.1051/j3ea/20191007

Open Access

Issue		J3eA Volume 18, 2019 JPCNFM 2018 – 15^e journées pédagogiques du CNFM (Coordination nationale pour la formation en micro-électronique et en nanotechnologies)


Article Number		1007
Number of page(s)		5
DOI		https://doi.org/10.1051/j3ea/20191007
Published online		18 octobre 2019

J3eA 18, 1007 (2019)

Microsystèmes communicants : modélisation, fabrication et mesures

S. Hage-Ali¹^,3^*, M. Oudich¹^,3^**, J. Claudel¹^,3, J. Strèque¹^,3, E. Tisserand¹^,3, J. Mainka¹, D. Rouxel¹^,3, C. Floer³, O. Elmazria²^,3, M. Hehn²^,3, F. Weinachter¹ et S. Weber¹^,3

¹ Faculté des Sciences et Technologies, Université de Lorraine, 54506 Vandoeuvre-Lès-Nancy, France Nancy 54000, France
² Polytech’Nancy, Université de Lorraine 2, rue Jean Lamour | 54519 Vandoeuvre-Lès-Nancy Cedex
³ Institut Jean Lamour, UMR 7198, Université de Lorraine - CNRS, Nancy 54000, France

^* Correspondant : Cette adresse e-mail est protégée contre les robots spammeurs. Vous devez activer le JavaScript pour la visualiser.
^** Correspondant : Cette adresse e-mail est protégée contre les robots spammeurs. Vous devez activer le JavaScript pour la visualiser.

Résumé

Nous présentons la mise en place de travaux pratiques et projets pédagogiques portant sur l’initiation à la modélisation, la fabrication et le test de microsystèmes communicants. Cette formation s’adresse aux étudiants de la licence 3 SPI et du Master EEA, parcours Capteur Intelligents Micro et nanotechnologie (CIM) à l’Université de Lorraine. Les travaux pratiques s’appuient d’une part sur de la modélisation par la méthode des éléments finis (FEM), et sur fabrication et la caractérisation des micro-dispositifs, notamment grâce à des ressources de l’Institut Jean Lamour à Nancy. L’exemple d’une étude de cas autour d’un capteur sans fil intégrant ces ressources est détaillé.

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