J3eA, Journal sur l'enseignement des sciences et technologies de l'information et des systèmes

Home

Recherche

Microsystèmes (MST/MEMS) : de la simulation à la réalisation technologique et à la caractérisation

L. Montès, D. Tsamados, N. Mathieu, P. Morfouli, B. Charlot and C. Schaeffer

J3eA, 4 (2005) 028

Published online: 15 juin 2005

DOI: 10.1051/bib-j3ea:2005728

L. Montès

D. Tsamados

N. Mathieu

P. Morfouli

B. Charlot

C. Schaeffer

Articles written by ALL the selected authors (AND)

Articles written by ANY OF the selected authors (OR)