Open Access
Numéro |
J3eA
Volume 4, 2005
CETSIS 2003
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Numéro d'article | 028 | |
Nombre de pages | 5 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/bib-j3ea:2005728 | |
Publié en ligne | 15 juin 2005 |
J3eA 4, HORS SÉRIE 2, 028 (2005)
Microsystèmes (MST/MEMS) : de la simulation à la réalisation technologique et à la caractérisation
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© EDP Sciences, 2005
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