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Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-Cut^TM

C. Rouhabi, T. Besombes, R. P. Tan, F. Guerin, C. Capello, F. Gessinn, G. Benassayag, A. Claverie, X. Hebras and M. Respaud

J3eA, 16 (2017) 1011

Published online: 31 janvier 2018

DOI: 10.1051/j3ea/20171011

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Rédacteur en chef : Pascal VRIGNAT - Comité de rédaction
eISSN : 1638-5705
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