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Microsystèmes (MST/MEMS) : de la simulation à la réalisation technologique et à la caractérisation

L. Montès, D. Tsamados, N. Mathieu, P. Morfouli, B. Charlot et C. Schaeffer

J3eA, 4 (2005) 028

Publié en ligne : 15 juin 2005

DOI: 10.1051/bib-j3ea:2005728

L. Montès

D. Tsamados

N. Mathieu

P. Morfouli

B. Charlot

C. Schaeffer

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