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Fabrication et caractérisation électrique d'un capteur de gaz à base de nanofils de silicium suspendus

A-C. Salaün, R. Rogel, E. Jacques et L. Pichon

J3eA, 13 (2014) 0007

Publié en ligne : 26 mai 2014

DOI: 10.1051/j3ea/2014007

A-C. Salaün

R. Rogel

E. Jacques

L. Pichon

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