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J3eA
Volume 13, 2014
JPCNFM 2012 – 12e journées pédagogiques du CNFM (Coordination nationale pour la formation en micro-électronique et en nanotechnologies)
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| Article Number | 0007 | |
| Number of page(s) | 6 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/j3ea/2014007 | |
| Published online | 26 mai 2014 | |
Fabrication et caractérisation électrique d'un capteur de gaz à base de nanofils de silicium suspendus
Groupe Microélectronique, IETR, UMR CNRS 6164, campus de Beaulieu,
35042 Rennes cedex, France
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Résumé
Cet article présente un TP proposé à des étudiants de masters ou filières d’écoles d’ingénieurs relevant des nanosciences. Il s’agit de fabriquer en salle blanche un capteur de gaz à base d’un réseau de nanofils de silicium suspendus et de mesurer sa sensibilité à l’ammoniac. Les étudiants sont ainsi initiés à la fois à la fabrication technologique en salle blanche d’un composant, à la caractérisation électrique et structurale ainsi qu’à son application pour la détection de gaz.
Mots clés : dépôt / lithographie / gravure / silicium polycristallin / nanofils suspendus / capteur de gaz
© EDP Sciences, 2014
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