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J3eA
Volume 18, 2019
JPCNFM 2018 – 15e journées pédagogiques du CNFM (Coordination nationale pour la formation en micro-électronique et en nanotechnologies)
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| Article Number | 1004 | |
| Number of page(s) | 14 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/j3ea/20191004 | |
| Published online | 18 octobre 2019 | |
Nouveaux travaux pratiques en nanotechnologies : étude nano-mécanique de micro/nano-objets mous/souples par AFM
1
CIME-Nanotech, Université Grenoble Alpes et G-INP, Grenoble, France
2
Institut Albert Bonniot, Université Grenoble Alpes, Grenoble, France
3
Institut Néel, Université Grenoble Alpes et G-INP, Grenoble, France
* Correspondant : Cette adresse e-mail est protégée contre les robots spammeurs. Vous devez activer le JavaScript pour la visualiser.
Résumé
La caractérisation des propriétés mécaniques de micro et nano-systèmes devient cruciale pour le développement des (bio)MEMS/NEMS. Comme la microscopie à force atomique (AFM) est un instrument de choix pour mesurer les propriétés morphologiques et mécaniques à l’échelle submicronique, nous avons développé un TP AFM en mode Peak Force sur cette thématique. Les étudiants effectueront la cartographie 4D d’un échantillon de polymères dont les propriétés mécaniques sont bien différentes. À partir de ces cartographies AFM, les étudiants estimeront les modules de Young en sélectionnant le(s) modèle(s) les plus adéquats. Le savoir-faire ainsi acquis sera ensuite appliqué lors d’un second TP à une cellule de souris fixée pour estimer ses propriétés viscoélastiques.
© EDP Sciences, 2019
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